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半導體含氟廢水是如何產生的?使用除氟劑如何處理

點擊數(shù):152025-09-03 13:40:11

半導體含氟廢水主要產生于制造過程中的蝕刻、清洗、研磨及沉積工序。在蝕刻環(huán)節(jié)(如晶圓加工),氫氟酸(HF)、氟化銨(NH?F)等含氟化學品用于選擇性去除材料表層,反應后形成高氟廢水;清洗步驟則因使用含氟清洗劑去除殘留物而產生含氟廢水。

此外,設備沖洗、廢氣廢液收集等環(huán)節(jié)也會貢獻氟污染源。此類廢水具有氟濃度高(500–2000mg/L)、強酸性、含重金屬氟絡合物(如銅、鎳)及成分復雜多變的特點。


處理難點

1. 傳統(tǒng)方法效率低:石灰沉淀法生成的氟化鈣(CaF?)沉淀疏松易返溶,出水氟濃度常反彈至10mg/L以上,難以穩(wěn)定達標;鋁鹽混凝法在高硬度、高氟水中易失效,且殘留鋁離子可能抑制生化系統(tǒng);反滲透膜雖能除氟,但高氟廢水導致膜結垢,更換成本高昂(噸水處理費超10元)。

2. 重金屬氟絡合物干擾:銅、鎳等重金屬與氟形成的穩(wěn)定絡合物,阻礙氟離子游離,降低沉淀效率。

3. 污泥處置成本高:傳統(tǒng)鈣鹽法產生大量含水率高的污泥,后續(xù)處置費用顯著。

環(huán)瑞除氟劑的處理優(yōu)勢

環(huán)瑞除氟劑(如GMS-F4、GMS-F6)通過階梯式工藝設計和精準離子交換機制解決上述痛點:


1. 深度除氟,穩(wěn)定達標:

一級處理可將氟濃度從500–2000mg/L降至20mg/L左右,二級處理進一步將氟濃度穩(wěn)定控制在0.5mg/L以下(遠低于1mg/L的嚴苛標準)。

2. 高效快速,操作簡便:

反應時間≤10分鐘,無需改造現(xiàn)有產線,配合智能加藥系統(tǒng)實現(xiàn)自動化控制。

3. 經濟性與環(huán)保性:

污泥量減少55%,含水率低,顯著降低處置成本。半導體含氟廢水的治理需突破傳統(tǒng)方法的局限。環(huán)瑞除氟劑通過深度除氟能力、抗干擾特性、快速反應及污泥減量等優(yōu)勢,不僅實現(xiàn)氟濃度穩(wěn)定≤0.5mg/L的嚴苛要求,更將廢水治理轉化為生產競爭力,助力半導體行業(yè)綠色制造升級。

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